氮氣純化裝置是指利用物理或化學的方法，除去氮氣中雜質，提升氮氣純度的裝置，該設備常用于醫(yī)藥、化工、電力、冶金等行業(yè)。常見的純化設備可分為有氫氮氣純化設備、微氫氮氣純化設備和無氫氮氣純化設備3種，它們的主要區(qū)別是在處理氮氣過程中是否需要引入氫氣以及如何處理含有的氧氣；具體來說：

有氫純化設備：一定流量的氮氣和氫氣同時進入純化裝置，在催化劑作用下，氮氣中的殘氧與氫反應生成水。然后氮氣經(jīng)過吸附干燥和脫水等步驟，得到高純度氮氣。

微氫純化設備：一定流量的氮氣通入吸附塔中，氧氣與吸附劑反應被消耗，高純氮氣被分離。之后使用一定量的氫氣還原吸附劑。氫氣消耗量小。

無氫純化設備：不需要額外添加氫氣，在脫氧劑作用下，氮氣中殘留的氧與脫氧劑反應生產(chǎn)二氧化碳。生產(chǎn)的二氧化碳再經(jīng)過分子篩吸附塔被去除，從而得到提高純度的氮氣。

以上各種純化工藝都可以產(chǎn)出高純氮氣。